全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪

技术参数

1、应用：科研级/企业级

2、基本功能：Psi/Delta、R/T、穆勒矩阵等光谱

3、分析光谱：380-1000nm(支持扩展至210-1650nm)

4、单次测量时间：1-8s

5、重复性测量精度：0.005nm

6、绝对精度(直通测量空气)

  椭偏参数:ψ=45±0.05°△=0±0.1°

  穆勒矩阵:对角元素m=1±0.005；非对角元素m=0±0.005

7、光斑大小：大光斑2-3mm；微光斑200μm