技术参数

1、电源：90V-132V/185V-265V

2、持续/最大功率：100W/110W

3、启动时间：2min

4、体积流速：N₂  33L/s、He  39L/s、H₂ 32L/s，2340L/min

5、压缩速率：N₂  >1E11、He  6×1E6、H₂ >1E5

6、极限压力：< 1E-8（无任何泄露下）

7、前级泵抽速：0.9m³/h（50Hz）、1.0m³/h（60Hz）