混气系统3路质子GSL-3Z

技术参数

1、电源：185-245V  50Hz

2、最大输出功率：18W

3、控制范围：控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM

5、准确度：±1%FS

6、线性：±0.5-1.5%

7、重复精度：±0.2%FS

8、响应时间：气特性1-4s，电特性10s针阀：316不锈钢

9、工作压差范围：0.1-0.5 MPa

10、压力表测量范围：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）

11、混气罐：?80mm×120mm

12、截止阀：?1/4″，316不锈钢针阀

13、工作温度：5-45℃