沈阳科晶其他, 1400℃三温区真空气氛管式炉GSL-1400X-Ⅲ以硅碳棒为加热元件，采用S型单铂铑热电偶测温和708P温控仪自动控温。本机设有真空装置，可在多种气氛下工作，主要用于电子陶瓷产品的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积（CVD）等工艺，特别适合批量生产使用。