本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，炉膛采用高纯氧化铝纤维，真空吸附一次成型。

2、高密度硅碳棒，真空挤压成型。

3、密封法兰，可通入气氛抽真空。

4、已通过CE认证。

产品规格

尺寸：860mm×470mm×720mm；重量：120kg

标准配件

1

刚玉（氧化铝）管

1根

2

氧化铝管堵

4个

3

热电偶（S型）

1个

4

不锈钢法兰

1套

5

硅胶密封圈

6个

6

高温手套

1双

可选配件

1、PC机控制软件及通讯模块

2、数字真空计

3、刚玉管、石英管

4、氧化铝坩埚、石英坩埚

5、坩埚钳

6、高真空系统

7、供气混气系统

8、双级旋片真空泵