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8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR

tel: 400-6699-117 7739

沈阳科晶其他, 8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR是三温区滑轨真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下,在≤6″的基片上生长多种薄膜。

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技术参数

1、电源:单相220V 8KW

2、石英管:外径?216mm,内径?208mm,长1300mm

3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

4、加热区域:600mm

5、恒温区域:200mm

6、工作温度:≤1100℃,连续工作400℃-1000℃

7、升降温速率:≤10℃/min

8、控温精度:±1℃

9、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

10、热偶检测真空接口:KF-25口:1个

11、进气接口:5路,精密不锈钢针阀密封

12、炉体:1300mm×680mm×920mm

13、滑轨:600mm




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