技术特点
【技术特点】-- 8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR
产品简介:8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR是三温区滑轨真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下,在≤6″的基片上生长多种薄膜。
控温仪表操作视频
产品型号 | 8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:需要选配冷水机 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头) 4、工作台:尺寸2000mm×600mm×700mm,承重400kg以上 5、通风装置:需要 | ||
主要特点 | 1、双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。壳体温度<70℃。 2、滑轨式法兰结构,方便取放样品。 3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。 4、采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。 5、右端法兰装载石英管堵,用以阻止热辐射;左端法兰上设有4片磨砂石英挡片,用于阻止热辐射。 6、已通过CE认证。 | ||
产品规格 | 尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg | ||
标准配件 | 1 | 石英管堵 | 1个 |
2 | KF-25真空挡板阀 | 1个 | |
3 | KF-40不锈钢波纹管 | 1根 | |
可选配件 | 1、软件接口模块和PC机 2、K型热电偶(?6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准) 3、冷水机 4、高速双极旋片泵 5、数显真空计 6、高真空机组(机械泵和涡轮分子泵) 5、质量流量供气系统 6、石英样品架 7、可移动炉架(800mm×600mm) |
【技术特点对用户带来的好处】-- 8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR
【典型应用举例】-- 8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR
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