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8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S

tel: 400-6699-117 7739

沈阳科晶其他, :8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S是一款炉管外径为8.5″ 的真空管式炉,可以在不同气氛下,在≤6″的基片上生长多种薄膜。

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技术参数

1、电源:AC 220V  8KW

2、石英管:外径?216mm,内径?208mm,长1016mm

3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

4、加热区域:600mm

5、恒温区域:200mm

6、工作温度:≤1100℃,连续工作400℃-1000℃

7、升降温速率:≤10℃/min

8、热电偶:双K型

9、控温精度:±1℃

10、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

11、铠装热偶检测口:1个

12、真空接口:KF40




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