技术特点
【技术特点】-- 8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S
产品简介:8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S是一款炉管外径为8.5″ 的真空管式炉,可以在不同气氛下,在≤6″的基片上生长多种薄膜。
产品型号 | 8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头) 4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上 5、通风装置:需要 | ||
主要特点 | 1、双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。壳体温度<70℃。 2、采用不锈钢真空密封法兰,使用双硅胶密封圈进行密封。 3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。 4、采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。 5、已通过CE认证。 | ||
产品规格 | 尺寸:1000mm×680mm×920mm;重量:250kg | ||
标准配件 | 1 | 石英管 | 1根 |
2 | 氧化铝管堵 | 2个 | |
可选配件 | 1、软件接口模块和PC机 2、石英管 3、石英管堵 4、K型热电偶(?6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准) 5、真空泵 |
【技术特点对用户带来的好处】-- 8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S
【典型应用举例】-- 8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S
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