可搭配多种泵组(涡轮分子泵、低温泵或油扩散泵)
pfeiffer 镀膜机真空腔体可冷却可加热,极限真空度最高可达 < 5 · 10-7 mbar,腔体漏率 < 1 · 10-5 mbar l/s
真空腔体大小 35 至 1300 l(特殊尺寸可定制)
镀膜机各种尺寸大小,根据实际应用和气体吞吐量决定
内置各种标准配件,坚固耐用满足严苛工业环境
低运营成本,易维护,兼容洁净室
通过附加配件升级镀膜机功能
pfeiffer 镀膜机所有真空腔体均是不锈钢材质