1. 多功能／同步分析功能 >拉曼测试 >发光测试 >激光反射及透射测试 >激光反射3D高对比度成像 >3D拉曼共聚焦成像 >光谱及偏振信息 2高空间分辨率 >水平高达200nm >垂直高达500nm 3 宽光谱范围30-150000px－（取决于激光器） 4 可同时安装5台激光器，通过内部组件自动切换 5. 扫描模式包含基于CCD的拉曼mapping以及基于PMT的快速扫描功能，1000*1000点扫描只需要3秒！ 6. 基于特殊设计的光谱仪，光谱分辨率高达0.006nm，畸变小于5um 7. 支持正置或倒置显微镜 8. 放大率可调整的光路系统，匹配显微物镜孔径3-12mm 9. 发射测试模块可同步获得激光反射3D成像 10. 系统完全自动控制 11. 高时间及温度稳定性 12. 系统无光纤，保持良好的光学参数（透射、波前以及偏振等） 13. 环形照明模块匹配AFM
Raman spectrum of Si wafer. Si (4) peak is clearly detected. Si (1) and Si (2) are in deep saturation. Confocal mode. Accumulation time - 60 seconds. 488 nm laser, 5 mW power |
Signal decrease from 90 % to 10 % at 200 nm, λ=514 nm, 100Х immersion lens Resolution along Z-axis.The reflection from silicon wafer, obtained by moving the objective lens along the Z axis.FW HW - 442 nm, λ=488 nm, 100x objective lens.
Specially designed monochromator-spectrograph with unique parameters:spectral resolution up to 0.006 nm, astigmatism less than 5 μm.Absolute wavelength accurasy: about 0.016 nm(for grating 2400 l/mm).Pinhole spectral image at CCD camera.Pixel size: 12 μm.Pinhole size: 12 μm. Image size: 1.5 pixel |
空间分辨率 | |||
激光波长 | 物镜 | XY空间分辨率 | Z轴空间分辨率 |
488nm | 100X,NA=0.95 | 210nm | 455nm |
633nm | 100X,NA=0.95 | 270nm | 590nm |
785nm | 100X,NA=0.95 | 335nm | 735nm |
拉曼探测光谱范围 | 750px-1-150000px-1 （取决于激光器） |
光谱分辨率 | 6.25px-1（75 l/mm阶梯光栅） |
灵敏度 | 1分钟Si四阶峰可见 |
扫描模式 | -快扫描模式：通过XY阵镜控制激光束扫描样品表面 -通过XY电动位移台控制样品扫描 -组合模式，通过快扫描模式＋唯一台结合得到全景的高分辨率图像 |
快扫描模式最大扫描范围 | XY 150*150um（100X物镜） |
快扫描时间及分辨率（150um*150um） | 3秒／1001*1001像素 |
计算机控制 | 全部计算机自动控制 |
光学组件优化光谱范围 | 325nm-1050nm(UV-VIS-NIR) 400nm-1100nm(VIS-NIR) |
激光传输 | 三或五路输入，自动切换 |
激光衰减 | 自动VND滤光片，0-OD3 |
偏振（激发端）及分析（发射端） | 格兰棱镜，自动控制 |
激光扩束装置 | 1-4倍放大率，自动控制 |
1/2波片位置 | 三或五位置自动控制 |
拉曼滤光片 | 三或五位置自动控制 |
干涉滤光片 | 六位置自动控制 |
Pre-pinhole 物镜定位器 | 自动三坐标（XYZ） |
显微镜
*类型 | 倒置Nikon Ti-S 或正置Nikon Ni-U |
载物台 | 自动位移台 |
-行程 | 114*75mm |
-精度（1mm位移） | 0.06um |
-XY重复性 | +/-1um |
-最小步距 | 0.02um |
显微物镜 | 100x NA-0.95 40x NA-0.75 20x NA-0.5 其他物镜可选 |
Z轴扫描 | 压电陶瓷 |
-物镜行程 | 80um |
-物镜调节步距 | 50nm |
-重复性 | 优于6nm |
高分辨率数字相机 | 数字彩色CCD相机 |
-传感器 | 1/2”, 2048*1536分辨率 |
-ADC | 10bit,12帧每秒 |
*其他类型显微镜可选
MS5004i影像光谱仪
焦距长度 | 520mm |
成像放大率 | 1.0水平方向 1.0垂直方向 |
垂直空间分辨率 | 优于20um |
平场尺寸 | 28*5mm |
杂散光抑制比 | 1*10-5（633nm激光20nm处） |
衍射光栅 | 自动四光栅塔轮 |
光谱分辨率（500nm,12um CCD像元） | 6.25px-1（阶梯光栅） 22.5px－1（1800可先光栅） |
输入狭缝 | 自动共聚焦针孔，0-1.5mm连续可调 |
输出狭缝 | 0-2mm连续可调 |
输入输出口 | 1输入，2输出 |
光谱CCD
类型 | 拉曼专用背感光深度制冷科学级CCD |
像素尺寸 | 12um，15um或26um可选 |
CCD分辨率 | 1024*256, 2000*256, 2048*512 |
制冷温度 | -100°C |
光谱响应范围 | 200-1100nm |
快扫描模块
扫描 | XY阵镜扫描 |
扫描模式 | raster high-speed and start-stop |
定位精度 | 优于30um |
扫描区域 | 150um*150um(100X物镜) |
扫描速度 | 3秒／幅 1001*1001点 |
激光反射共聚焦成像
Pre-pinhole 物镜定位器 | 自动三坐标（XYZ） |
共聚焦针孔 | 自动共聚焦针孔，0-1.5mm连续可调 |
探测器 | 滨松H6780-01 光电探测器 |
激光器
激光器类型 | 支持同时安装5路激光器，自动切换 | |
波长，nm | 输出功率，mW | |
氦镉激光器（TEM00） | 325 | 15, 30, 40, 50 |
半导体泵浦激光器（DPSS） | 473 | 25, 50 |
半导体泵浦激光器（DPSS） | 532 | 25, 50 |
氦氖激光器 | 633 | 10 |
半导体泵浦激光器（DPSS） | 785 | 80 |
可选择其他350nm-850nm其他类型激光器 |
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