技术特点
【技术特点】-- 德国Sentech光伏测量仪MDPmap
德国Sentech光伏测量仪MDPmap,灵活的自动扫描系统
离线工具MDPmap是专为半导体晶片或部分工艺过的晶片的多功能、非接触和少子寿命测量而设计的。直观的绘图软件适用于有效的常规测量以及复杂的研发应用。
MDPmap设计用于离线生产控制或研发、测量少子寿命、光电导率、电阻率和缺陷信息等参数的小型台式无触点电特性测量仪器,在稳态或短脉冲激励下(μ-PCD)下工作。
MDPmap的主要优点是灵活性高。例如,它允许集成多达四个激光器,用于从超低注入到高注入的与注入水平相关的寿命测量,或者通过使用不同的激光波长提取深度信息。包括偏光设施,以及μ-PCD或稳态注入条件的选择。可以使用不同的测量图形进行客户定义的计算,以及导出用于进一步评估的主要数据。对于标准测量,预定义的标准仅通过按一个按钮即可实现常规测量。
优势
。在几乎任何生产阶段,电活性缺陷或材料性能的可视化实现了工艺优化和设备的性能预测。
。极其通用的测量方法可实现特殊测量以及国际标准的可追溯性。
。小型紧凑的台式工具,具有很高的测量灵敏度,便于快速常规测量。
【技术特点对用户带来的好处】-- 德国Sentech光伏测量仪MDPmap
【典型应用举例】-- 德国Sentech光伏测量仪MDPmap
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