光束稳定系统可用于抵消或纠正由振动、热量漂移,或其他对激光方位有不良影响的因素引起的光束指向和位置的变化。该系统可应用于所有激光设备和激光系统中。如果激光系统中有您不期望的波动或移位, 而您的激光应用需要有很高的精确性和稳定性,那么光束稳定系统可帮助您来达到这一目的。
信欧光电所开发的光束稳定系统具有独立自主知识产权,系统主要基于对激光束的两个位置点采样,实现空间上4个自由度的调节,通过位置探测器PSD反馈位置误差信号来控制Nanomotor,从而实现保持光束位置的恒定。系统分为两类:科研级光束稳定系统(型号:S-LBS1000-R)和工业级光束稳定系统(型号S-LBS1000-I)),其中前者基于公司自主研发和生产的Nanomotor压电纳米位移促动器SNM01,后者基于公司自主研发和生产的快速直接压电驱动镜架SNM03,响应速度比科研级光束稳定系统所用的Nanomotor快10倍。由于Nanomotor的体积小,分辨率高,失电位置保持的特性使得Nanomotor非常的适合于此类光学系统的调节,另外Nanotomotor还可以应用于真空、紫外等应用环境。目前,Nanomotor正被广泛用于控制激光的指向漂移,能够显著提升系统的准确性,其应用范围包括半导体晶圆在生产制造过程中的测量、曝光控制、光束跟随等。同时也广泛应用在科研领域,如激光腔镜调节、晶体相位匹配、晶体腔内移位、偏振元件调节、薄膜测量系统,晶圆图案检测等。
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