| 指标 | HR-3 | HR-2 | HR-1 |
| 轴承类型，止推 | 磁悬浮 | 磁悬浮 | 磁悬浮 |
| 轴承类型，径向 | 多孔碳 | 多孔碳 | 多孔碳 |
| 电机结构 | 托杯 | 托杯 | 托杯 |
| zei小振荡扭矩（nN.m） | 0.5 | 2 | 10 |
| zei小稳态剪切扭矩（nN.m） | 5 | 10 | 20 |
| zei大扭矩（nN.m） | 200 | 200 | 150 |
| 扭矩分辨率（nN.m） | 0.05 | 0.1 | 0.1 |
| zei小频率（Hz） | 1.0E-07 | 1.0E-07 | 1.0E-07 |
| zei大频率（Hz） | 100 | 100 | 100 |
| zei小角速率[1]（rad/s） | 0 | 0 | 0 |
| zei大角速率（rad/s） | 300 | 300 | 300 |
| 位移传感器 | 光学编码器 | 光学编码器 | 光学编码器 |
| 光学编码器 双读头 | 标配 | N/A | N/A |
| 位移分辨率（nrad） | 2 | 10 | 10 |
| 应变切换时间[2]（ms） | 15 | 15 | 15 |
| 速率切换时间[2]（ms） | 5 | 5 | 5 |
| 法向/轴向力传感器 | 力平衡传感器 | 力平衡传感器 | 力平衡传感器 |
| zei大法向力（N） | 50 | 50 | 50 |
| 法向力敏感度（N） | 0.005 | 0.005 | 0.01 |
| 法向力分辨率（mN） | 0.5 | 0.5 | 1 |
[1]控应力模式为0，控速率模式依赖于测量点持续时间和采点时间
[2]达到设定值的99%
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