技术数据：

缸孔直径  [mm] 72 – 142

垂直驱动范围 [mm] 127

测量范围 [µm] ± 150

最大垂直分辨率 [nm] 1

X,Y,R 定位不确定度[µm]       5

采样速率 [µm/s] 2

第一测量点与平台间距离 (高度)  [mm] 0

最后测量点与平台间距离 (深度) [mm] 137

尺寸 [mm] 320 x 320 x 380

重量 [kg] 16