PHL膜厚测量椭偏仪 ME-210（-T）

产品型号： ME-210（-T）

品牌：PHOTONIC LATTICE

产品产地：日本

产品类型：进口

原制造商：PHOTONIC LATTICE

状态：在售

厂商指导价格： 80~100万元[人民币]

上市时间： 2016年

英文名称： ME-210（-T）

优点：以往的椭偏仪是单点测试，因此要取得整面膜厚均匀性数据是需要N个小时的工作，而且最小的测量分辨率就是激光光斑大小，也就是说，无法取得微小区域的膜厚分布数据。