产品型号： UTA-IA

品牌：ARMS SYSTEM

产品产地：日本

产品类型：进口

原制造商：ARMS SYSTEM

状态：在售

厂商指导价格： 1~20000元[人民币]

上市时间： 2016年

英文名称： UTA-IA

优点：显微镜LED曝光单元UTA系列是用于光刻的图案投影曝光设备，其不需要掩模。 （无掩模曝光装置） ·使用金属显微镜和LED光源DLP投影仪，在涂有抗蚀剂的基板上投射几微米分辨率的任何图案并进行曝光。 ·可以在个人计算机上自由创建图案。