飞纳Phenom ProX台式扫描电镜电镜能谱一体机

规格参数

参考招标参数：

化学与环境学院采购台式显微能谱一体机HSZC1708CG001288  2017/08/11

1.技术规格 

1.1总体要求：课题组样品表面形貌快速检测，样品EDX能谱分析。要求学生自己可以上手操作测试自己的样品，以加快实验进度。因此要求设备在满足分辨率的前提下，成像快速，放置环境要求低，可随意搬动，维护周期长 

*1.2支持不导电样品直接观察，不导电样品可无需喷金直接测量 

*1.3仪器形态：小型、桌面，可移动，要求具有防震设计，可摆放于普通实验室桌面使用，无需建立专用的抗震实验室或独立的抗震台来摆放，可不用减震装置就能放置在二楼以上楼层 

*1.4放大倍率：内置集成彩色光学显微镜，光学放大 20-135倍，电子放大130,000倍（非数字放大） 

*1.5背散射电子探测器分辨率： 优于10 nm 

*1.6加速电压： 5kV-15 kV连续可调 

*1.7灯丝材料：CeB 6，单根灯丝寿命>1500 h，灯丝仓与电子仓、样品仓三仓分离，观察绝缘体不影响灯丝寿命 

*1.8电子舱真空封锁技术，每次换样，抽真空时间：<15s；从开始载样到成像时间：<30s 

1.9真空技术：具有真空分级技术,低真空观测灯丝寿命不受影响 

*1.10样品台移动控制方式：全自动马达样品台控制，配合样品光学、电子双重导航，实现鼠标点到哪看到哪，要求光学全景导航界面与电子图像局部导航界面，与成像界面在同一屏幕上显示（要求提供软件截图证明）； 

1.11检测信号：高灵敏度背散射电子探测器 

1.12图像格式：jpg，tiff，bmp 

1.13图像分辨率： 456x456；684x684；1024x1024；2048x2048 

1.14真空系统：隔膜泵，涡轮分子泵 

1.15软件平台：Linux系统,对病毒免疫 

1.16数据存储：移动硬盘或者电脑、网络存储 

*1.17防震设计：桌面，可移动，要求具有防震设计，可摆放于普通实验室桌面使用，无需建立专用的防震实验室或独立的防震台来摆放，可不用减震装置就能放置在二楼以上楼层 

*1.18远程检测：具有终身免费远程诊断功能，通过联网专业工程师可随时远程诊断，低维修成本，提高响应效率 

*1.19全景图像拼合功能：可自动连续扫描指定大小区域，每分钟可采集超过100张1024x1024分辨率的图像，zei大分辨率达1亿像素，所的图像自动拼合为一副全景图像（提供软件截图证明） 

1.20电镜操作系统终身免费升级 

1.21 EDS 探测器集成在电镜主机中 

*1.22元素探测范围：B（5）-Am（95） 

1.23能量分辨率 137eV（Mn Ka） 

1.24冷却方式：无液氮 Peltier 效应制冷 

1.25元素分析：自动和手动元素确认 

1.26探测器晶体活性面积：25mm2 

1.27探测器类型：硅漂移探测器（SDD）

*1.28拓展功能：可选配适用于不同领域的样品杯；3D粗糙度软件、纤维系统、颗粒测量系统等软件 

2.必备的附件、备件和专用工具 

2.1 电镜能谱一体机主机及部件（SEM with EDX/proX） 

2.1.1 电镜能谱一体机主机系统（Main SEM system） 1套 

2.1.2 19寸高分辨显示器（19 inch high resolution monitor） 2台 

2.1.3 前置隔膜泵（Pre vacuum pump）1台 

2.1.4 标准样品杯（Standard sample holder）1 个 

2.1.5 适配器电源（Power supply） 1套 

2.1.6 控制旋钮（Rotary knob） 1个 

2.1.7安装培训说明（Installation and Training manual）1 套 

2.1.8灯丝（CeB6 Filament）1根 

2.1.9 离子溅射仪1台 

3.赠送配件及耗材 

3. 1 碳导电胶（Carbon tab） 100个 

3. 2 专用镊子（Special tweezers）1把 

3. 3 样品盒（Sample mount box）1套 

3. 4 1/2英寸样品台（1/2 inch stubs）100个 

3.5 液体导电胶（Carbon Liquid）1瓶 

3.6 超平滑碳导电胶点100个 

3.7碳双面导电胶卷1卷 

3.8灯丝（CeB6 Filament）1根