技术特点
【技术特点】-- Raptor EUV/VUV X-ray探测CCD相机-Eagle X
主要特性： |
l 直接X-ray探测 |
l 整机放置在真空室内，提供完整真空穿通的解决方案 |
l 采用Teledyne e2v公司CCD |
l 探测能量1.2eV-20KeV |
l TEC深度制冷，制冷到-80℃，降低暗电流，以延长曝光时间 |
l 采用内部场景技术获得超高动态范围93dB |
关键指标： | |
分辨率 | 2048x2048 1024x1024 |
暗电流 | 0.0004e/p/s@-75℃ |
满井电荷 | 100Ke- |
读出噪声 | 2.3e- |
A/D深度 | 16bit |
典型应用： |
l X-ray显微成像 l X-ray等离子诊断 |
l 全息成像和半导体光刻 |
l 断层影像 |
l 晶体学 |
l 高次谐波产生 |
l 相衬成像和源特性 |
l 极紫外、真空紫外成像 |
【技术特点对用户带来的好处】-- Raptor EUV/VUV X-ray探测CCD相机-Eagle X
【典型应用举例】-- Raptor EUV/VUV X-ray探测CCD相机-Eagle X
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