创新点:
采用实时化学电离飞行时间质谱法, 结合专利技术的快速TOF电压极性和试剂离子切换,支持同时多达六种试剂离子的化学电离模式。 2秒周期内可对多种有机和无机污染物进行高灵敏度广谱覆盖。
Vocus ABC监测仪采用实时化学电离飞行时间质谱法,结合专利技术的快速电压极性和试剂离子切换,支持同时多达六种试剂离子的化学电离模式。2秒周期内可对多种AMC进行广谱覆盖。
图1展示了Vocus ABC 监测仪的快速响应速度。上插图显示了同时测定的MEK、PGME和PGMEA的浓度,而下图显示了用另一种试剂离子同步测量的甲苯。
图1 图1. Vocus ABC监测仪在物种浓度变化时的整体响应时间。图中的x轴表示目标浓度,而Y轴是所选化合物的测量浓度。
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无碎片软电离
AMC在软电离检测条件下几乎不产生离子碎片,从而实现了简化的解谱过程,高准确性的定量分析和未知物定性能力。丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA,108-65-6)、丙二醇甲醚(PGME,107-98-2)和甲乙酮(MEK,78-93-3)在电离过程中通常会产生相似度较高的碎片,用传统的CI质谱仪很难区分。本文图2展示了Vocus ABC监测仪的软电离无碎片分别检测的强大能力。
图2. 顺序在ABC检测仪前引入或移除PGMEA、PGME和MEK源,ABC检测仪实现了对这些具有挑战性的化合物的分别检测。因无电离碎片,上述三种物种检测过程无相互干扰。
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线性响应
Vocus ABC监测仪可实时准确地检测出单ppt级别的浓度,与传统技术相比,可实现更大浓度范围的污染检测和管控。表1列出了Vocus ABC监测仪对部分AMC物种的检测下限(LOD),图3和图4则列出了标定的线性度。
表1 Vocus ABC对半导体制造相关AMC物种的LOD
图3. 甲苯的检测线性范围
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重现性、准确性
图4. 为了证明重现性、准确性和响应时间,MEK、PGME和甲苯的浓度梯度增加后归零,随后重复两次。左Y轴为检测信号,右Y轴为浓度。这3种AMC是经过标气(含12种化合物)稀释后测量的,整体VOC浓度约为1200 ppb。
TOFWERK 其他应用场景
Vocus ABC监测仪适合半导体产业的各种应用场景,包括材料逸出、洁净室多通路监测、瞬时测漏和FOUP污染监控。点击对应链接可查看具体应用。图5是洁净室泄露监测实例,Vocus ABC检测仪全程检测了甲苯和氨气的泄漏过程。图6展示了ISO 5级无尘室中某材料逸出AMC的测量结果。
图5. 在ISO 5级的精细化学洁净室中检测到的氨气和甲苯泄漏
图6. 在ISO 5级无尘室中的材料脱气。材料用零气不间断冲洗,并经Vocus ABC监测仪直接检测。每个时间序列都同时使用3种不同的化学电离方式,从而光谱监测各种不同种类AMC。
过程离子分析选件
用于分析和监测半导体工艺中存在的离子和中性物质的解决方案配置,具有 ppm 灵敏度和毫秒级采样率。
过程离子能量分析选项
解决方案配置,用于同时分析半导体过程中的离子种类、质量和能量,具有优于 0.5 eV 的能量和 10 微秒的时间分辨率、ppm 灵敏度和毫秒采样率。
辅料
用于集群应用或类似应用的多端口阀
入口歧管允许在不同的过程压力范围内进行测量
动态范围和检测限
> 5 个数量级的动态范围
对于大多数元件的灵敏度优于 ppm @ 1 kHz 采集速率
系统规格
质量分辨能力 | 从 800 到 8000 Th/th |
质量范围 | 1000 Th |
质量精度 | 低至 5 ppm |
动态范围 | > 105 |
最大谱图采集速率/TOF提取速率 | 1 kHz/> 30 kHz |
耐腐蚀 | 是的 |
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