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参数
氦气纯化器 | |
纯化气体: | He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
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最大操作压力: | 1000 psig
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不纯气去除: | 输入气杂质浓度在10ppm 纯化输出低于10ppb H2O, H2, O2, N2, NO, NH3, CO, CO2, CH4, 其他气体去除包括CF4, CCl4, SiH4, H2 |
不被去除的: | He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn |
氮气纯化器 | |
纯化气体: | 只纯化N2
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不纯气去除: | 输入气杂质浓度在10ppm 纯化输出低于10ppb H2O, H2, O2, NO, NH3, CO, CO2, CH4, 其他气体去除包括CF4, CCl4, SiH4, H2
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不被去除的: | 同氦气纯化器 |
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