技术特点
【技术特点】-- Tergeo等离子清洗机
Tergeo等离子清洗机
特 征: ● 模式:直接浸泡式等离子清洗可以高速刻蚀和表面改性; 远程等离子体可以轻微的清除表面污染,如SEM/TEM样 品清洗 ● 操作:自动配方执行;自动作业顺序执行;亦手动控制 ● 等离子传感器:双等离子强度传感器(zl申请中)实时监测 等离子源和远程等离子源且等离子强度实时显示LCD触摸屏上 ● 先进工艺控制:压力传感器、温度传感器、MFC气体流量计、双等离子强度传感器、自动阻抗匹配 ● 腔体材料:铝法兰,石英腔体 ● 石英腔体尺寸:内径:110mm;深280mm ● 样品架:2mm厚高纯度石英板 ● 射频天线:外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极 在等离子清洗机中发现的金属溅射问题 ● 射频功率:13.56mhz射频电源,自动阻抗匹配 射频功率有两种选择:0-75watt和0-150watt ● 工艺气路:高达三个MFC气路 ● 用户界面:7寸电阻式触摸屏 ● 软件:总共20个可定制的配方。每个工艺多达三个步骤 |
【技术特点对用户带来的好处】-- Tergeo等离子清洗机
【典型应用举例】-- Tergeo等离子清洗机
经销商
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