PECVD沉积
tel: 400-6699-117 转 1000Trion半导体专用检测仪器设备, Minilock-Orion III是一套最先进的等离子增强型化学汽相沉积(PECVD)系统。 系统的下电极尺寸可为20......
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产品型号: Minilock-Orion III PECVD
品牌:Trion
产品产地:美国
产品类型:进口
原制造商:Trion
状态:在售
厂商指导价格: 50~100万元[人民币]
上市时间: 2013-07-10
英文名称: Minilock-Orion III PECVD
优点:Minilock-Orion III是一套最先进的等离子增强型化学汽相沉积(PECVD)系统。 系统的下电极尺寸可为200mm或300mm,且根据电极配置,可以处理单个基片或带承片盘的基片(3”- 300mm尺寸),或者多尺寸批处理基片(4x3”; 3x4”; 7x2”)。 Minilock-Orion III用于有毒/发火PECVD工艺。
参考成交价格: 50~100万元[人民币]
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