技术特点
【技术特点】-- PHI 710俄歇电子能谱仪
PHI710主要特点：
l SEM分辨率≤ 3 nm, AES分辨率≤ 8 nm
在俄歇能谱的采集分析过程中，包括谱图，深度剖析及元素分布像，需要先在SEM图像上定义样品分析区域，必然要求束斑直径小且稳定。PHI 710的SEM图像的空间分辨率优于3nm,AES的空间分辨率优于8nm(@20kV,1nA),
【技术特点对用户带来的好处】-- PHI 710俄歇电子能谱仪
【典型应用举例】-- PHI 710俄歇电子能谱仪
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俄歇电子能谱（AES）
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