| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 分辨率*3 | 4.0 nm（二次电子像、加速电压：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次电子像、加速电压：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射电子像、加速电压：20 kV、低真空模式） |
| 加速电压 | 0.3 kV～20 kV |
| 倍率 | ×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （显示器显示倍率） |
| 低真空设置 | 6～100 Pa |
| 电子枪 | 集中灯箱（Pre-Centered Cartridge Filament） |
| 样品台 | 3轴马达驱动样品台 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 最大可观察范围：直径64mm（R联用）*4 |
| 最大样品尺寸 | 直径80 mm（选配：直径153mm） |
| 最大样品高度 | 40 mm |
| 尺寸 | 机体：450（宽度）×640（进深）×690（高度） mm 电源盒：450（宽度）×640（进深）×450（高度） mm |
| 选项 |
|
| 软件 | Multi Zigzag（连续视野图像导入功能） |
* PC、桌子、监控器由客户准备
*3 机体和电源盒连接时候
*4 使用标准支架时
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经销商
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