日立高新扫描电子显微镜 FlexSEM 1000 II

“先进的SEM更为紧凑”
宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计，仍具备4.0 nm的图像分辨率。
全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。

特点

FlexSEM 1000 II，凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”，这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点，实现最直观的视野移动。

• 尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型*1电子显微镜，仍可实现4.0 nm的分辨率

• 凭借独特的高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器（UVD*2），可在低加速/低真空下观察时实现最高的画质

• 全新的用户界面，无论用户的熟练程度如何，都可实现高画质和高处理能力

• 全新的定位功能“SEM MAP”，支持观察时的视野搜索和样品定位

• 大直径（30毫米2）无氮EDS检测器，可快速进行元素分析*2

• *1 设置到桌面上时，请将机体与电源盒分离

• *2 选项

小型高性能色谱柱

尺寸虽小，却具备同类产品中最高的分辨率。

金颗粒沉积
加速电压：20 kV
倍率：60,000倍
信号：SE
分辨率：4 nm

金颗粒沉积
加速电压：20 kV
倍率：50,000倍
信号：BSE
分辨率：5 nm

高画质

配备可优化放射电流的功能，以便在较低的加速电压下也能获得足够的亮度，而获得噪点小且清晰的图像。

储氢合金
加速电压：5 kV
倍率：30,000倍
信号：SE、无金属涂层

Al-Ni复合材料
加速电压：3 kV
倍率：10,000倍
信号：BSE、无金属涂层

可用高画质和快速观察

搭载GUI和自动调节功能，让初学者也能得心应手。只要按一下自动对焦（AFC）、自动亮度调节（ABCC）按钮，就可以获得最佳的图像。（自动调节：与以往相比，缩短时间约13秒*3）当然，也可以通过触屏进行操作。

• *3 对比日立SEM SU1510

全新定位系统“SEM MAP”

“SEM MAP”功能可有效实现观察时的视野搜索和样品定位。根据内置摄像头所拍摄的图像，定位样品，一键点击即可移动到观察部位。
在SEM MAP上导入的图像会自动进行粘贴，并以分布图的形式显示。

可放置在桌面上的紧凑型电子显微镜

宽幅仅为45厘米，紧凑型设计，最大程度地减小占用空间。机体仅支持AC100 V 3P电源插座。此外，机体和电源盒可以分离，从而大幅度提升诸如桌面设置等的布局灵活性。

FlexSEM 1000 II

观察实例

半导体

焊线

加速电压：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：1,000倍
信号：BSE、无金属涂层

加速电压：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：5,000倍
信号：BSE、无金属涂层

材料

二硫化钨

FlexSEM 1000 II采用新型偏压系统，可在低加速电压下获得高放射电流。从而，在低加速电压下也能实现同类产品中最高的图像清晰度（S/N）。

加速电压：15 kV
倍率：10,000倍
信号：SE、无金属涂层

加速电压：3 kV
倍率：10,000倍
信号：SE、无金属涂层

水泥

加速电压：3 kV
倍率：15,000倍
信号：SE、无金属涂层

黄铜矿

加速电压：5 kV
真空度：40 Pa
倍率：1,000倍
信号：BSE、无金属涂层

生物

蝴蝶翅膀断面

加速电压：5 kV
倍率：40,000倍
信号：SE、有金属涂层

花粉

加速电压：5 kV
真空度：60 Pa
倍率：500倍
信号：UVD、无金属涂层

三维测量软件

Hitachi map 3D（选项）

利用SEM上4分割背散射电子检测器所获得的信号，可计算4个方向的表面形状，从而无需进行样品倾斜和视野对位，即可构建三维模型。
Hitachi map 3D支持多个国家的语言，具备用于调节样品位置的各种校正功能、以及可追溯测量过程的测量系统、符合ISO标准的表面粗糙度（面粗糙度、线粗糙度）的测定、此外还包括表面积、体积等其他测量功能以及报告输出等功能。

       日立高新技术公司于2016年4月15日在全球发布了新型扫描电子显微镜——FlexSEM 1000。该产品结构紧凑，占地面积小，但分辨率不输大型电镜，同时操作极其简便，几乎不用培训就可操作。紧凑型设计，分辨率为4 nm。

       扫描电子显微镜可对材料的表面进行高倍率观察及高精度元素分析，在纳米技术、生命科学、产品设计研发及失效分析等领域有着广泛的应用。 近年来，扫描电镜观察表面精细结构及元素分析的需求日趋增加，而越来越多的用户希望能在生产线、品保检验线和办公区等有限的空间里使用扫描电子显微镜。因此，体积小、操作简便、分辨率高的扫描电子显微镜备受关注。FlexSEM 1000主机宽450mm、长640mm，相比SU1510型号体积减小52%，重量减轻45%，功耗减小50%，且配备标准化的电源接口。主机与供电单元可分离，安装非常灵活。

        FlexSEM 1000采用最新设计的电子光学系统和高可靠性、高灵敏度的探测器，分辨率高达4nm。FlexSEM 1000有多种自动化功能，操作简便，即便是初次操作者也能快速拍出高质量图像。另外，新开发的导航功能「SEM MAP」可使用各种光学图片或电镜照片进行导航，一键就快速精准地切换至感兴趣的高倍率视野。

紧凑型VP-SEM FlexSEM 1000

(主机与供电单元可分离)

特点：

a. 通过高灵敏度二次电子探测器，背散射探测器，低真空探测器（UVD^*2），实现低加速电压/低真空下高质量图像观察

b. 操作简捷，即使新手也能拍出高质量的图片

c. 新开发的导航功能「SEM MAP」，便于快速锁定视野

d. 大窗口（30 mm²）SDD能谱系统，便于快速分析元素成分^*2

*1     设置在桌面时，分离主机和电源箱

*2     选配