| 项目 | 内容 |
| 电子枪 | 预对中灯丝 |
| 检测系统 | 高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器 |
| 加速电压 | 5 kV/15 kV |
| 倍率 | ×15～×60,000（使用数码变焦时：×240,000） |
| 观察压力 | 大气压模式（105 Pa）（装有隔膜时） |
| 负压模式（约103 Pa～105 Pa）（装有隔膜时） | |
| 低真空模式（数 Pa～数10 Pa）（拆下隔膜时） | |
| zei大样品尺寸 | 直径55 mm |
| 大小和重量 | 主机：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手动操作台） |
| 控制装置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg | |
| 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2台 |
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