二．技术参数

◆温控系统

柱箱温度范围：室温+5℃～450℃

温度设定精度：0.01℃

温控数量：8路独立控温系统

程序升温速度：0.1～40℃/min

智能后开门：进出风量无级可调

降温速度：从350℃降至50℃＜7min

程序升温阶数：16阶（可扩展）

最长一次运行时间：999.99min

◆进样系统

控制方式：压力/流量控制

流量：气体最大流量为1000SCCM

灵敏度：0.01SCCM

输出偏移量（精度）：±5%

分流比：最大5000:1

电磁阀：高速切换电磁阀寿命长(10mS，100万次)

进样阀：可搭载多个进口自动控制阀，可自动序列运行

◆检测器及纯化器系统

检测气体类型：H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2等

放电模式：脉冲放电

基线噪声：≤0.05mv

基线漂移：≤0.2mv/30min

检测限：10ppb（甲烷）

重复性：RSD≤3%

可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe等

最大操作压力：1000Psi

去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3等

残留浓度：≤10ppb

最低检测指标：

三．适用标准：
GB/T 16942-2009《电子工业用气体 氢》      GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦》
GB/T 16944-2009《电子工业用气体 氮》      GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩》
GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》      GB/T 14601-2009《电子工业用气体 氨》     

GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》  GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》
GB/T 14851-93《电子工业用气体 磷化氢》  GB/T 14603-2009《电子工业用气体 三氟化硼》   

GB/T 28125.1-2011《空分工艺中危险物质的测定》

四．典型谱图：