蔡司（ZEISS）扫描电镜与拉曼光谱联用系统

扫描电子显微镜：是利用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生二次电子、背散射电子、X射线等，对样品表面或断口形貌进行观察和分析的一种检测手段。借助附件能谱仪EDS或者波谱仪WDS可以获得分析区域的元素种类及其含量的定性信息。增加背散射电子衍射EBSD附件还可以获取晶体学取向信息。但是扫描电镜很难表征物质的化学结构。

拉曼光谱： 是一种散射光谱，通过测定材料的分子键的振动频率，可以获得材料的化学与结构特点，例如官能团，对称群，点阵缺陷等，以及材料的结晶度等详细的信息。但是 拉曼光谱往往借助光学显微镜用于观察样品及激光聚焦，受制于所用激光光源的波长（一般为紫外、可见光及近红外波段），空间分辨率较低，对于一些结构复杂的 样品难以分辨其中的不同的物相与颗粒。

扫描电镜-拉曼光谱联用可以对样品进行微区原位分析，实现对样品的系统性分析测试。鉴于可以从同一点采集扫描电镜数据与拉曼光谱数据，能够对样品表面形貌和物质分子结构的关系进行快速直观的表征。以SEM图像为基础，可以更准确地对样品选择测试区域进行快速、无损的物质成分分析，得到准确的样品组成数据。