2850412321
参数：
2 J / pulse electrical input
> 0.4 mJ / sr / pulse EUV inband
< 500 mm source diameter FWHM
> 50 Hz Reprate
Permanent operation 7 days / 24 h
Guaranteed 100.000.000 pulses；
Tested up to 230.000.000（> 1200 hours）Flexible head orientation
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