技术特点
【技术特点】-- 扫描探针光刻系统(SPL)
Nano analytik公司成立于2010年4月,技术源自德国伊尔梅瑙科技大学,公司的核心竞争力在于传感器、微系统和控制技术,公司宗旨是让纳米分析技术简单化,在保证科研严谨性的同时提高科研效率。
Nano analytik研发了一款基于新型扫描探针的高性能光刻系统。可在大气环境下,高经济效益、快速直写10纳米以下结构和制备纳米级器件。该系统的闭环回路可实现使用同一扫描探针对纳米结构的成像、定位、检测和操纵。
扫描探针光刻系统(SPL)
技术特点:
场发射低能电子束
大幅降低电子束背底散射
几乎消除电子束临近效应
无需调制电子束聚光
10 nm 以下光刻精度
接近原子级分辨的套刻精度
线写速度高达 300 μm/s
大气环境下可实现正负光刻
正光刻流程无需显影步骤
大范围分步重复工艺
Mix & Match 混合光刻模式
闭环系统:光刻成像同一针尖反复交替进行
多针尖并联阵列提高效率
产品规格
光刻模式 | 正光刻、负光刻 |
工作环境 | 大气、真空 |
最小线宽 | 5 nm (验收指标) |
直写速度 | 300 μm/s |
套刻精度 | < 7 nm |
拼接精度 | < 10 nm |
最大光刻区域 | 200 μm x 200 μm |
最大样品尺寸 | 直径:150 mm (6 英寸) |
占用空间 | 80 cm x 100 cm x 190 cm |
探针扫描头配置
工作模式 | 顶部XYZ扫描头 |
扫描范围 | (XYZ) 10 μm × 10 μm × 5 μm 可扩展至 200 μm × 200 μm |
定位精度(XYZ) | 0.01 nm;0.01 nm;0.01 nm |
传感器 | 压阻闭环传感 |
输入/输出频道 | 3 |
样品台配置
工作模式 | 底部XY定位器 |
运动范围(XY) | 18 mm × 18 mm 可扩展 150 mm × 150 mm |
最大运动速度 | 20 mm/s |
运动精度 | 7 nm |
运动重复性 | 80 nm (每运动100 μm) |
电子配置
分辨率 振幅/相位 | 16-bit |
反馈控制平台 | 实时FPGA |
带宽 | 8 MHz |
计算机接口 | USB, 以太网可选 |
传感器调节 | 0-4 V可编程电桥 |
软件
实时修正 | 线, 面, 多项式 |
轮廓线测量 | YES |
粗糙度测量 | YES |
对比度/亮度/色彩调节 | YES |
3D 图像 | YES |
线平均 | YES |
图像输出 | bmp, png, jpg格式 |
原始数据输出 | txt格式 |
图像后续处理软件 | Gwyddion, WSxM |
【技术特点对用户带来的好处】-- 扫描探针光刻系统(SPL)
【典型应用举例】-- 扫描探针光刻系统(SPL)
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