【技术特点】-- 单离子注入(SII)

设备简介

Nano analytik公司成立于2010年4月，技术源自德国伊尔梅瑙科技大学，公司的核心竞争力在于传感器、微系统和控制技术，公司宗旨是让纳米分析技术简单化，在保证科研严谨性的同时提高科研效率。

Nano analytik研发了一款基于新型扫描探针显微镜针尖的离子注入系统。该系统利用探针悬臂上紧邻针尖的小孔（小于 50nm）并结合扫描探针的精确定位，完成具有高度空间分辨率的单离子注入。应用此项技术可以制备纳米尺度的功能器件，例如可用于量子计算机的单电子晶体管。

单离子注入(SII)

应用领域：

• 功能材料定位掺杂

• 纳米尺度器件制备

• 固态量子计算机

工作原理示意图（纳米漏斗）

氮离子注入金刚石色心

场效应器件验证离子注入

扫描探针悬臂梁，扫描针尖及紧邻的小孔（50nm）

区域定位单离子注入 V.S. 随机掺杂

1.8nm单电子晶体管
2017年4月 欧盟科研项目
室温量子效应（库伦阻塞）

【技术特点对用户带来的好处】-- 单离子注入(SII)

【典型应用举例】-- 单离子注入(SII)