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日立高新SU-1510扫描电子显微镜

tel: 400-6699-117 1000

日立扫描电镜SEM, 主机宽度仅为55cm,体型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜

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技术参数 :

二次电子分辨率

3.0nm(高真空,30kV)

背散射电子分辨率

4.0nm(低真空:60Pa,30kV)

倍率

5 ~ 300,000倍

加速电压

0.3~30 kV

样品台

X  0~80mm

Y  0~40mm

Z  5~50mm

T  -20~80mm

R 360°

样平台控制

手动(可选:2轴马达)

zei大载入样品尺寸

直径:153mm

zei大观察范围

直径:126mm(XYR并用)

zei大样品高度

60mm (WD=15mm)

低真空范围

6-270Pa(从菜单设定)

灯丝

预对中钨灯丝

物镜光阑

4孔可变光阑

枪偏压

固定比例偏压、手动偏压、自动4偏压

检测器

二次电子检测器,高灵敏度半导体背散射电子检测器

EDX分析位置

WD=15mm,TOA=35°

真空系统

分子泵1台,机械泵1台

安全措施

停电,漏电,自动保护


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