技术特点
【技术特点】-- Cryo-Plex 8LP紧凑型8英寸口径低温泵
超薄设计低温泵技术:
经过验证的紧凑型低温泵技术,Cryo-Plex 8LP设计专门用于空间受限的应用。两级冷头设计(吉福德/麦克马洪原理)高抽速状态捕获水蒸汽和气体,保证可靠的、无油实现高真空和超高真空。Cryo-Plex 8LP低温泵可选具有增强的阵列来提高氩气和氢气的吸附和/或可选的三相电动机以减少振动 – 特性尤其有利于半导体工具应用。
主要特点与优势:
工业标准设计: Cryo-Plex 8LP低温泵泵体/法兰90度方向从泵的中心线安装,比我们的标准的Cryo-Plex8低温泵的设计高度缩短尺寸超过66%。Cryo-Plex 8LP的进气口法兰配置符合行业标准的ANSI,ISO和的Conflat®和完整的特高压规格,可无缝集成到现有的工艺并且方便与其他OEM冷泵交换。
灵活的配置:
亮点:
l 紧凑型(LP)低温泵设计用于空间受限的应用
l 可靠的高速无油超高真空低温泵
l 二十年的历史,成熟的技术和专业的设计
l 行业标准的兼容性,可无缝集成到现有设施
l 优化的监视和控制系统(可选)
l 全球销售和24×7支持
l 美国制造
【技术特点对用户带来的好处】-- Cryo-Plex 8LP紧凑型8英寸口径低温泵
【典型应用举例】-- Cryo-Plex 8LP紧凑型8英寸口径低温泵
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经销商
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