BD系列高精度探针台

总体规格特点:
●   重量：50kg（含显微镜）
●  尺寸：590mm宽*500mm长*700mm高（含显微镜）
●  优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作

显微镜操控规格:
●   在探针台右侧有大摇杆，提起90度后，可以使显微镜快速倾仰抬起，方便在测试时更换物镜镜头
●   显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围2“X2“，精度1μm
●   显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm
 
台面规格:
●  探针台台面平整度：5μm
●  探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择
●  探针台右上方有转轮摇杆，摇动时可使台面线性上下升降，升降范围25mm，精度1μm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的复位
 
卡盘（载物台，即图中的chuck）规格:
●  6“ 卡盘，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径250μm-1mm（可根据客户需求定制孔径大小），zei小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，zei大能够吸住尺寸为6“X6“
●  卡盘可360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮
●  卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6“X6“，移动精度为1μm，为方便点测的稳定性，带有锁住功能。如果点测6“wafer的时候，可以保证6“wafer的每一点都能够点测到
性能：
● 镀金真空吸附卡盘: 对应可选4“ ，6“，8“，12“产品
● 大旋钮移动卡盘台，X-Y方向行程：6“-6“
● 卡盘快速拉出装置便于放置/拿去样品
● 线性无回差调节
● 台面快速升/降行程：6mm，精调升/降行程：25mm
● 样品尺寸: 5x5mm ~ 4“ 6“, 8“, 12“
● 卡盘平整度: 10um
● 卡盘旋转角度：0~360°
● Chuck Theta: ±15?
● 大旋钮滑台X-Y方向精度: 1um
● 台面上/下升降摇杆/旋钮
● 显微镜倾仰装置

参考招标参数：

一、设备的主要用途、功能及特点

多环境高温探针台系统主要用于在高温下对半导体纳米器件的光电性能测试提供测试手段和测试环境。该平台分为两个测试系统，一个为大气环境下，室温到高温的变温测试系统，另一个为高真空环境下，室温到高温的变温测试系统。

二、技术指标

系统1：大气环境下变温探针台技术规格要求

（一）探针台台体

*1.1 基础台体，含显微镜支架。

*1.2  6英寸真空吸附卡盘，zei小吸住尺寸为0.3mm*0.3mm；卡盘X、Y方向行程不低于6英寸，X-Y方向调节旋钮带有锁定功能；卡盘表面平整度不低于5μm。

*1.3  卡盘可实现RT~400℃变温，低噪声直流驱动，温度分辨率：1℃；温度准确度：100ﾟC,±1ﾟC；200ﾟC,±2ﾟC； 300ﾟC,±3ﾟC；400ﾟC,±4ﾟC。配备水冷系统。

*1.4显微镜支架X、Y方向行程不低于1英寸，精度不低于1μm。

1.5台面材质为优质不锈钢。表面平整度不低于5 μm。

*1.6  探针台可通过摇杠控制，实现台面快速上下升降6mm。探针台可通过转轮控制，可使台面线性上下升降，升降范围25mm，精度1μm。

1.7台体高度（含显微镜）： 不低于700 mm。

1.8 显微镜后仰机构，方便测试时更换镜头。

（二）显微镜

*2.1 Motic Microscope PSM 1000型显微镜，目镜：10X；超长工作距离物镜：2X、10X、20 X、50 X；变焦倍率: 1X\2X；高功率光纤光源（软管式）；亮度无级调节；可加装CCD。

（三）探针座

*3.1两种移动精度探针座（四个），其中两个移动精度不低于0.35 um，重量≥1000g；另外两个移动精度不低于0.7 um，重量≥550g。

 3.2固定方式：真空吸附方式。

 *3.3 X-Y-Z线性移动范围12 mm×12 mm×12 mm。

3.4无回差调节。

（四）防震桌、屏蔽箱

*4.1 气压式防震桌。

*4.2 自动调节稳定和平衡。

4.3 前后都有防护围挡防止手直接触碰浮动平台。

4.4  低噪声空气压缩机

*4.5  防震桌前后都有防护围挡防止手直接触碰浮动平台

*4.6  垂直本征频率 1.5Hz；防震效率@ 5Hz 85%；防震效率@ 10Hz 97%；

水平本振频率 1.2Hz；防震效率@ 5Hz 91%；防震效率@ 10Hz 97%

*4.7  匹配式屏蔽箱，屏蔽光线和电磁干扰，尺寸不小于910mm宽，1010mm深，1140mm高。

4.8 屏蔽箱上预留相关转接接口。

（五）CCD系统

*5.1 500万像素数字CCD。

  5.2 通过USB连接电脑。

5.3 CCD图像处理软件中文界面；除图像、视频采集功能外，还应有针对图像的测量及处理功能。

*5.4 连接CCD的计算机1台：ThinkPad T440（酷睿i5，4G内存，1G显存）。

（六）真空泵

*6.1 为超静音无油真空泵。

*6.2 流量7 L/min。

（七）夹具、线缆&转接头

*7.1夹具为管状固定方式，数量为四套。

*7.2 线缆为三同轴线缆，长度1.5 m，线上接头为Triaxial male接头。

*7.3  四个Triaxial female转Triaxial female转接头，可以固定在屏蔽箱上。

*7.4  四套脉冲测试用转接块、夹具及线缆，可便捷安装在相应探针座上，并能匹配Keithley半导体参数分析仪系统进行PIV测试。

（八）探针

*8.1  直流测试探针，针尖直径5 um，探针针杆长度不低于1.26英寸，数量为四盒（每盒10根）。

 *8.2  脉冲测试专用探针，针尖直径10um，频率DC to 500 MHz，数量为20根。

（九）其他

*9.1制造商需具有20年以上生产制造经验，有丰富的技术积累和应用案例。

系统2：高真空环境下变温探针台技术规格要求

（一）真空腔体

 *1.1  真空探针台台体，不锈钢腔体直径不小于250mm，顶部视窗为直径不小于100mm的石英玻璃；

 *1.2  腔体内载物台直径不小于40mm；

*1.3 载物台可实现温度变化范围为RT~500℃，温度控制器分辨率1℃，温度准确度100ﾟC，±1ﾟC； 200ﾟC，±2ﾟ C；300ﾟC，±3ﾟC；400ﾟC，±4℃；500℃，±5℃。配备水冷系统。

（二）探针臂

 *2.1  四个探针臂，探针座通过波纹管与腔体连接，探针臂X-Y-Z行程为不小于25mm×25mm×25mm，移动精度不低于10um。每个探针臂预留Triaxial male转接头。

（三）显微镜

 *3.1  目镜20X，0.8~5X连续变焦，C-Mount接口，220V光源；

（四）真空泵组

 *4.1  高真空分子泵组，配合腔体使用，腔体真空度优于10^-5Torr。

（五）CCD系统

*5.1 500万像素数字CCD。

5.2 通过USB连接电脑。

 5.3 CCD图像处理软件中文界面；除图像、视频采集功能外，还应有针对图像的测量及处理功能。

*5.4 连接CCD的计算机：ThinkPad T440（酷睿i5，4G内存，1G显存）。

（六）防震桌

*6.1 气压式防震桌。

6.2 自动调节稳定和平衡。

6.3 低噪声空气压缩机

*6.4 垂直本征频率 1.5Hz；防震效率@ 5Hz 85%；防震效率@ 10Hz 97%；

水平本振频率 1.2Hz；防震效率@ 5Hz 91%；防震效率@ 10Hz 97%

（七）其他

*7.1制造商需具有20年以上生产制造经验，有丰富的技术积累和应用案例。

三、售后服务：保修期一年，