- 处理高温、潮湿的样气
- 产出30-70% R.H.的样气
- 流速可达 1 LPM
- 内置泵抽取样气到 ECS
- 0.1微米一次性过滤器
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博纯过滤器、超滤、微滤系统, ECS分析仪能够容忍酸性腐蚀性样气,但当样气 湿度过大时,可靠性就会产生问题。Micro-GASS 系统能完美地将样气的湿度降低到ECS可接受的 范围内(一般为30%到-70%R.H.),同时还能去除 气体中所有的微粒杂质。
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