JXA-8530F Plus 场发射电子探针显微分析仪
2003年日本电子推出了世界首台商业化场发射电子探针（FE-EPMA），此后被广泛地应用于金属、材料、地质等各个领域，并获得了极高的赞誉。zei新研发的第三代场发射电子探针JXA-8530F Plus，电子光学系统有了很大的改进，新的软件能提供更高的通量，并保持着极高的稳定性，能实现更广泛的EPMA应用。
肖特基场发射电子探针Plus
JXA-8530F Plus采用浸没式肖特基场发射电子枪,优化了角电流密度，能利用2 μA以上的大探针电流进行分析，还提高了分析条件下的二次电子像的分辨率。
高级软件
新开发了多种基于Windows操作系统的软件，其中包括：能使痕量元素分析更加简便的“痕量元素分析程序”、能自动制作相图的“相图制作器”以及只需简单输入就能对表面凹凸不平样品进行测试的“不平坦样品的分析程序”等。
备注：Windows7® 为美国微软公司在美国及其它国家的注册商标或商标。
灵活的WDS配置
X射线波谱仪可以选择140 R或100 R罗兰圆， 罗兰圆半径为140 mm的XCE/L型X射线谱仪检测范围宽，波长分辨率高和P/ B比优异，100 mm的H型X射线谱仪具有X射线衍射强度高的特点，可以根据需要选择使用。
WDS/EDS组合系统
JXA-8530FPlus标配了JEOL制造的30平方毫米 SD检测器（以下简称SD检测器），凭借高计数率的SD检测器，在与WDS相同的分析条件下可以进行EDS分析，通过简单的操作就能采集EDS谱图。
多功能样品室
样品室的可扩展性强，配备了样品交换室，可以安装各种附件。 可以安装的附件
• 电子背散射衍射系统（EBSD）
• 阴极荧光检测系统
• 软X射线分析谱仪
• 不暴露在大气环境下的转移舱
• 高蚀刻速率的离子源
强力、清洁的真空系统
高强力真空系统包括两台磁悬浮涡轮分子泵， 镜筒内还采用两个中间室，通过差动抽气保持电子枪室的高真空。
软X射线分析谱仪 (SXES)
日本东北大学多元物质科学研究所（寺内正己教授）和日本电子株式会社共同开发的的高分辨率软X射线分析谱仪。 新开发的变栅距衍射光栅(VLS）和高灵敏度的CCD相机组合，同时检测Li-K系谱线和B-K系谱线，该谱仪实现了极高的能量分辨率，因而能进行化学结合状态分析等。
miXcroscopy （关联显微镜)
能批量登录光学显微镜指定的坐标数据作为EPMA的分析点，该系统zei适合于需要用光学显微镜决定分析位置的样品。
分析测试百科网讯 近日，日本电子株式会社发布了肖特基式场发射电子探针显微分析仪(EPMA)JXA-8530F Plus。
JXA-8530FPlus
产品研发背景
日本电子在2003年推出了世界上第一台商业化的FE-EPMA，JXA-8500F。一直被高度重视的FE-EPMA被应用于金属、材料、地质行业及学术界等各个领域。
JXA-8530FPlus是第三代FE-EPMA,通过一种改进的电子光学系统增强了其分析和成像能力。肖基特热场发射枪结合新的软件提供了高通量。尖端的FE-EPMA也附带可拓展的多功能室。合并了多种功能以后，JXA-8530FPlus可以满足各种用户对于保持高稳定性的要求，从而使得EPMA可以得到更高的分辨率。
主要特征
肖特基热场发射电子探针Plus版本
肖特基热场发射电子探针Plus版本优化了角电流密度,允许对2μA或更高的探针电流进行分析，甚至在通过自动调整为正确收敛角的分析条件下，保证得到的二次电子图像已得到改进。
先进的软件
先进的Microsoft Windows®基于丰富的应用系统,包括:
1)微量元素分析程序简单：通过添加5个光谱仪的收集来的数据来优化分析微量元素；
2)基于主要成分自动化的创建阶段图像；
3)自动化WDS的非表面分析程序对不规则表面样品的分析。
灵活的WDS配置
可以选择各种x射线光谱仪(WDS):罗兰圆半径的140毫米(140 r)或140毫米(100 r),2水晶或4水晶配置和标准或大尺寸晶体的混合体。
XCE(2 xtl) X射线光谱仪,FCS(4 xtl)X射线光谱仪和L(大2 xtl)x射线光谱仪140 r宽光谱范围,提供优越的波长分辨率和峰背比率。
100 r的H型x射线光谱仪提供高x射线强度。用户可以选择从这些光谱仪取决于需求。
WDS/EDS系统相结合
JXA-8530FPlus附带JEOL 30 mm2硅漂移探测器(SDD)。高计数率SDD以及一个原位可变孔径可以EDS分析改进算法的条件。EDS光谱、地图和线扫描和改进算法可以同时获得数据。
多用途室
jxa-8530 fplus配有大量可扩展样品室,样品室交换,使您能够集成各种可选附件室。包括:
电子背散射衍射系统(EBSD)
阴极发光检测器(全色、单色、彩色高光谱)
软x射线发射光谱仪
空气分离器
高蚀刻率离子源
强大清洁的真空系统
JXA-8530FPlus采用一个强大的、清洁的真空系统,包括两条磁悬浮涡轮高真空泵。此外,提供了一个双阶段电子光学列的中间室,从而维持高真空电子枪腔内的微分抽水。添加可选的滚动泵和液氮创建zei终的无油真空系统。
软x射线发射光谱仪(sx)
超高能量分辨率软x射线发射光谱仪是由先进材料多学科研究所，日本东北大学和日本电子有限公司等联合开发。可变线距(VLS)光栅可以同时检测(EDS),并允许检测Li-K常数与高灵敏度CCD光谱。这种光谱仪达到非常高的能量分辨率,支持详细化学键的状态分析。
显微镜使用 (相关显微镜)
通过x,y轴的坐标，可以把光学显微镜锁定在你感兴趣的位置，记录并转换成电子探针来对所选位置进行成像和分析。
场发射电子探针是日本电子株式会社应对全世界研究者对材料研发和分析的需求而发明出来的一款非常实用的实验仪器。自发明以来，在全世界已拥有数百家用户，广受好评。
随着技术进步和用户对仪器本身期望不断提升，日本电子也在不断改进和提升场发射探针的水平。2017年1月6日，经过近半年多的酝酿，日本电子株式会社终于在新年伊始正式发布第三代电子探针JXA-8530F Plus。
JXA-8530F Plus秉承并发展了日本电子传统电子光学系统的优势，进一步减小了大束流下的束斑尺寸，提高了分辨率，同时通过各种软件使得操作和分析更加方便，扩展性更好。
可扩展附件：
1. 一体化能谱仪：可以与波谱仪在同一个工作条件下同时测量，更好的提高分析效率；
2. EBSD：在获得准确成分定量的同时，获得结构信息，真正实现形貌、成份、结构三位一体；
3. 软X射线谱仪：采用日本电子株式会社zei新发明的软X-射线谱仪，获得超轻元素的微区成分信息和微区化学状态的变化；
4. 阴极发光探头：对于半导体材料和地质材料分析具有很大帮助；
5. 空气隔离交换系统：对于锂电池等空气敏感的材料，可以从使得制备好的样品在空气隔离环境下进入探针样品室进行观察。
6. 光电一体化软件：Mixcroscopy 软件实现了光镜与电镜的无缝对接。
日本电子在2003年推出了世界上第一台商业化的FE-EPMA，JXA-8500F
JXA-8530FPlus是第三代FE-EPMA
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