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日本电子JIB-4700F双束扫描电镜系统(FIB-SEM)

tel: 400-6699-117 6205

日本电子扫描电镜SEM, 高分辨,高速分析、高速加工的三合一平台,可实现光镜与电镜的无缝连接......

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SEM
 Accelerating voltage加速电压0.1 to 30.0kV
 Image resolution (at optimum WD)图像分辨率(zei优WD)1.2nm (15kV, GB mode)
1.6nm (1kV, GB mode)
 Magnification 倍数x20 to 1,000,000
(LDF mode available) 
 Probe current 探针电流1pA to 300nA 
 Detector (*option) 检测器LED, UED, USD*, BED*, TED*, EDS*
 Specimen stage 样品台Computerized 6-axis goniometer stage
X: 50mm, Y: 50mm, Z: 1.5 to 40mm, R: 360°, T: -5 to 70°,
FZ: -3.0 to +3.0mm 
FIB
 Accelerating voltage 加速电压1 to 30kV
 Image resolution图像分辨率4.0nm (30kV)
 Magnification倍数x50 to 1,000,000
(x50 to 90 obtained at 15kV or less)
 Probe current探针电流1 pA to 90 nA, 13 steps
 Processing shapes by milling铣削加工形状rectangle, line, spot, circle, bitmap


主要技术参数:

SEM
加速电压0.1 ~ 30.0 kV
分辨率 (zei佳WD时)1.2 nm (15 kV, GB模式)
1.6 nm (1 kV, GB模式)
倍率x20 ~ 1,000,000 (采用LDF模式)
探针电流1 pA ~ 300 nA
样品台计算机控制6轴测角样品台 
X: 50 mm, Y: 50mm, Z: 1.5 ~ 40 mm,  R: 360°, T: -5 ~ 70°, FZ: -3.0 ~ +3.0 mm
FIB
加速电压1 ~ 30 kV
图像分辨率4.0 nm (30kV)
倍率x50 ~ 1,000,000 (x50 ~ 90在加速电压为15kV以下时可以)
探针电流1 pA ~ 90 nA, 13 档
加工形状矩形、线、点、圆、位图 



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地址:北京市西城区阜外大街2号万通新世界广场B-1110

电话:400-6699-117 转 6205

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