日本电子JIB-4700F双束扫描电镜系统（FIB-SEM)

• JIB-4700F 双束加工观察系统

• 随着先进材料构造的微细化和制造过程的复杂化，形貌观察、元素分析和晶体分析等的评估技术也对分辨率和精度有了更高的要求。为了满足这些需求，JEOL推出新一代双束加工观察系统JIB-4700F。 该设备的SEM镜筒中采用了超级混合圆锥形物镜、GB模式和in-lens检测器系统，在1kV低加速电压下,实现了1.6nm的保证分辨率,与zei大能获得300nA探针电流的浸没式肖特基电子枪组合，可以进行高分辨率观察和高速分析。

产品特点：

• 双束加工观察系统 JIB-4700F能进行高分辨观察、高速分析、高速加工的FIB/SEM 装置。

• 随着先进材料构造的微细化和制造过程的复杂化，形貌观察、元素分析和晶体分析等的评估技术也对分辨率和精度有了更高的要求。为了满足这些需求，JEOL推出新一代双束加工观察系统JIB-4700F。 该设备的SEM镜筒中采用了超级混合圆锥形物镜、GB模式和in-lens检测器系统，在1kV低加速电压下,实现了1.6nm的保证分辨率,与zei大能获得300nA探针电流的浸没式肖特基电子枪组合，可以进行高分辨率观察和高速分析。FIB镜筒利用zei大探针电流为90nA的高电流密度的Ga离子束，对样品进行高速加工。 利用FIB高速截面加工后的高分辨SEM观察和使用EDS(能谱仪)及EBSD(晶体取向分析系统)等各种分析装置，可以进行高速分析。此外还标配了三维分析功能，能以固定的间隔自动进行截面加工并同时获取截面的SEM图像。

• 高分辨率SEM观察

• 通过采用电磁场叠加的圆锥形物镜、GB模式和in-lens检测器，在1kV低加速电压下实现了1.6nm的保证分辨率。

• 高速分析

• 浸没式肖特基电子枪与zei佳光阑角控制镜组合，大探针电流分析时也能保持高分辨率。

• 高速加工

• FIB镜筒利用高电流密度的Ga离子束,对样品进行高速加工。

• 加强了检测系统

• 利用新开发的同步检测系统（包括in-lens检测器），zei多能实时观察4个检测器的图像。

• 扩展性

• 可支持EDS、EBSD、冷冻传输系统、冷冻样品台、空气隔离传输系统（Air-isolation transfer vessel）等丰富的选配附件。

• 三维观察、三维分析

• 高分辨率SEM和各种分析单元（选配项）组合，能对图像和分析数据进行三维观察。

• 样品台联动功能

• 利用样品提取系统（Sample Pick-up System，选配项）和样品台联动功能，能简单地提取TEM样品。

• 图像叠加（picture overlay ）系统

• 通过和附带光学显微镜的样品提取系统组合，将光镜图像叠加在FIB图像上，能容易地定出FIB的加工位置。

分析测试百科网讯 近日，日本电子株式会社发布JIB-4700F双束系统，一部新开发的FIB-SEM仪器。

JIB-4700F

　　产品研发背景

　　新材料复杂结构的进步发展对FIB-SEM仪器分辨率，精度和通量提出了更高的特殊要求。对此，JEOL开发JIB-4700F多波束系统，一种新的处理和观测系统用于形态学观察、元素和晶体的各种标本的分析。

　　JIB-4700F的特征是混合锥形物镜，GentleBeam™（GB模式）和一个在提供低加速电压1 kV，1.6 nm分辨率保证的透镜检测系统。使用“透镜肖特基发射电子枪”可以产生电子束的zei大探针电流为300 NA，这使得JIB-4700F允许高分辨率的观测和快速分析。对于聚焦离子束柱，由90 nA的zei大探针电流决定的高电流密度的Ga离子束可以用于标本的快速离子铣削和加工。

　　同时，通过FIB快速断面处理，可以利用能量色散X射线光谱仪（EDS）和电子背散射衍射（EBSD）来进行高分辨率的扫描电镜观察和快速分析。此外，在横截面处理自动捕获SEM截面图像的三维分析功能也是JIB-4700F的标准功能。这种多波束系统将提供给公共和私人研发网站和半导体制造商。

　　主要特点

　　高分辨率扫描电镜观察

　　由磁性/静电混合圆锥物镜，GB模式和镜头检测器保证在低加速电压为1千伏下到达1.6nm的分辨率。

　　快速分析

　　通过透镜肖特基发射电子枪和孔径角控制镜头的相结合可以分析大探针电流来保持高分辨率。

　　快速加工

　　高功率Ga离子束柱可快速处理试样。

　　增强探测系统

　　同步检测系统包括新近发展起来的镜头探测器，允许4个探测器实时观测图像。

　　多种可选附件

　　JIB-4700F包括多种可选附件EDS、EBSD兼容，低温输送系统、冷却和空气隔离传输系统等。

　　三维观测/分析

　　与高分辨率SEM和适当的可选的分析单元（S）的组合的图像和分析数据的三维可视化是可行的。

　　多级联动功能

　　随着大气拾取系统（可选）和阶段联动功能，透射电镜（TEM）标本可以轻松收回。

　　图片叠加系统

　　在大气提取系统中把光学显微镜图像覆盖在FIB图像上是的更容易识别FIB处理点。

Advances in the development of new materials featuring complex nanostructures places increased demands on FIB-SEM instruments for exceptional resolution, accuracy and throughput. In response, JEOL has developed the JIB-4700F Multi Beam System to be used in morphological observations, elemental and crystallographic analyses of a variety of specimens.

The JIB-4700F features a hybrid conical objective lens, GENTLEBEAM™ (GB) mode and an in-lens detector system to deliver a guaranteed resolution of 1.6nm at a low accelerating voltage of 1 kV. Using an “in-lens Schottky-emission electron gun“ that produces an electron beam with a maximum probe-current of 300nA, this newly-developed instrument allows for high-resolution observations and fast analyses. For the FIB column, a high-current density Ga ion beam of up to 90nA maximum probe-current is employed for fast ion milling and processing of specimens.
Concurrent with high-speed cross-section processing by FIB, high-resolution SEM observations and fast analyses can be conducted utilizing energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) and electron backscatter diffraction (EBSD). Additionally, a three-dimensional analysis function that automatically captures SEM images at certain intervals in cross-section processing is provided as one of the JIB-4700F's standard features. 

High resolution SEM observation

Guaranteed resolution of 1.6 nm at a low accelerating voltage of 1 kV is delivered by a magnetic/electrostatic hybrid conical objective lens, GB mode and in-lens detector.

Fast analysis

Fast analysis is enabled because high resolution can be maintained in analyses under large probe-current by the combination with an in-lens Schottky-emission electron gun and aperture angle control lens.

High speed processing

High-power Ga ion beam column enables rapid processing of specimens.

Enhanced detection system

Simultaneous detection system involving the newly-developed in-lens detectors allows for real-time observation of images from up to 4 detectors.

Versatility

The JIB-4700F is compatible with a variety of optional attachments including EDS, EBSD, cryo-transfer systems, cooling stages and air-isolated transfer systems, etc.

Three-dimensional observation/analysis

Three-dimensional visualization of images and analysis data is possible with the combination with high-resolution SEM and appropriate optional analysis unit(s).

Stage linkage function

With the atmosphere pick-up system (optional) and stage linkage function, TEM (transmission electron microscope) specimens can be retracted with ease.

Picture overlay system

Overlaying an optical microscope image from the atmosphere pick-up system on FIB images makes it easier to identify a FIB processing point.

2017年1月5日日本电子株式会社全球同步发布新一代场发射双束FIB JIB-4700F。

场发射双束FIB近年来市场增长较快，JIB-4700F采用JEOLzl的大束流长寿命电子枪，束流强度可高达300nA，在保证高压和低压分辨率的同时，分析效率大大提高，另外离子束流zei高也可达到90nA以上制样效率显著提高。

JIB-4700F是一款高分辨，高速分析、高速加工的三合一平台，可实现光镜与电镜的无缝连接。