光刻机

- 掩模尺寸：最大7英寸；

- 样品尺寸：最大6英寸；

- 卡盘移动：X,Y,Z,Theta轴手动，楔形补偿调平；

- 紫外光源：6.25“ X 6.25“；

- 光源功率：350瓦紫外灯；

- 光源均匀性：<+/-3%；

- 光源365nm波长强度：最大30毫瓦；

- 显微镜：双显微镜系统；

- 显微镜移动：X,Y,Z轴手动调节；

- 显微镜物镜空间：50-150mm；

- 标配放大倍率：80X-400X；

- 显示器：20“ LCD；

- 曝光时间：0.1-999秒；

- 接触模式：真空接触，硬接触，软接触，接近接触(距离可调)；

- 对准精度：1um (Vacuum Contact), 1.5um(Hard Contact), 3um(Soft Contact), 5um(Proximity Mode)；

- 电源：220V，单相，15安培；