【技术特点】-- 大扫描范围原子力显微镜

● 原子力显微镜扫描器zei大测量范围：110um X & Y range，22um Z range

● 大尺寸样品台，全自动测量zei大直径为160mm样品。

● PZT/Voice Coil双模式技术AFM

● 全自动运动平台，马达驱动

● zl批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像

● 先进的32-bit DSP控制器，zl反馈技术(扫描范围>10um时zei高扫描20 Hz,消除爬行现象)

● 可以进行纳米压痕和划痕实验

● zl光学系统， XY闭环扫描技术

● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发

【技术特点对用户带来的好处】-- 大扫描范围原子力显微镜

【典型应用举例】-- 大扫描范围原子力显微镜