FLEXAFM原子力显微镜测量模式：接触式原子力显微镜（大气和液态环境），真正非接触式原子力显微镜（大气和液态环境），横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。

扫描范围：100 μm，10 μm

Z方向范围：10 μm，3 μm

XY方向驱动分辨率：0.152 nm

Z方向驱动分辨率：0.046 nm

zei小Z方向测量噪音水平：0.15nm

样品尺寸：直径100mm