技术参数：

PDHID对硅烷中气体杂质检测限（ppb）
H₂   O₂+Ar    N₂   CO    CH₄   CO₂    C2    C3   SimHn
50     50         50     50     20     20     20     20     50

二、技术参数：

1、检测限（ppb）：

2、温控指标：

•  柱    箱：室温上8℃－400℃   精度±0.1℃

•  进 样 器：室温上8℃－400℃   精度±0.1℃

•  检 测 器：室温上8℃－400℃   精度±0.1℃

•  温控数量：八路

•  程序升温：八阶

•  升温速率：1℃~40℃

•  降温速度：7分钟以内（350℃到50℃）

3、氦离子化检测器（PDD）：

•  放电模式：脉冲放电

•  基线噪声：≤0.1mv

•  基线漂移：≤0.5mv/30min

•  检测限：≤1.0×10-10g/ml

4、载气纯化器：

•  可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

•  大操作压力：1000Psi

•  去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等

•  残留浓度：≤10ppb

5、工作站性能：

•  通讯接口：RS232/USB接口  

•  高精度：24位的高精度A/D

•  分辨率：±1uv            

•  输入电平范围：-5mv至+1v

•  采样频率：最高20次/秒   

•  动态范围：106

•  积分灵敏度：1μv•sec   

•  线性度：<±0.1%。< span=““>

•  重现性：0.06％。

6、其他参数：尺寸、重量、电源

•  尺寸：宽655mm×高500mm×深480mm

•  重量：～48kg

•  电源：220V±22V，50Hz，功率≥2kW