技术参数：

系统包括：
1，负压取样系统
2，六通阀进样系统
3，色谱分析系统
4，数据采集和处理系统。由于氟气中含有腐蚀性强的HF，所以该色谱配备了两台耐腐蚀的热导，全部采用阀进样，所有样品经过的地方都采用了防吸附处理。