产品型号：ArF/KrF

品牌：Gigaphoton

产品产地：日本

产品类型：进口

原制造商：Gigaphoton

状态：在售

厂商指导价格：未提供

上市时间： 2015-03-02

英文名称：ArF/KrF

优点：ArF 浸润式是目前可量产的光刻技术极限。Gigaphoton 是一个被半导体厂商和光刻机厂商认可的光源供应商，也是最早进入量产阶段的厂商。其设计先进，具有波长和带宽稳定控制技术、耗材复用及长寿命技术、化学气体长周期使用等一系列提高性能与稳定性并降低运行成本的核心技术。ArF Immersion机台率先使用了带宽控制(BCM)技术，能够稳定的控制E95，减少CD Error的出现