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Gigaphoton深紫外線準分子激光器

tel: 400-6699-117 1000

Gigaphoton半导体专用检测仪器设备, ArF 浸润式是目前可量产的光刻技术极限。Gigaphoton 是一个被半导体厂商和光刻机厂商认可的光源供应商,也是最早......

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技术参数:

日本Gigaphoton公司是全球顶尖的深紫外光刻机(DUV Scanner)的光源供应商,其研发并生产的KrF(248nm)准分子激光与ArF(193nm)准分子激光代表了当今半导体业界的最前沿技术。


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地址:中国上海浦东新区福山路450号新天国际大厦22A室

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