薄膜材料的热导率评价将变得极为简便

假设热量全部传导到基体，则T(0)可由下式计算：

（λ/Wm^-1K^-1，C/JK^-1m^-3，q/Wm^-3，d/m，ω（=2πf）/s^-1）

式中实部（同相振幅）包含样品薄膜的信息。如热量全部传导到基体，则同相振幅正比于(2 ω)0.5，薄膜的热导率（λ1）可由下式给出：

（m：斜率，n：截距）

设备参数

1. 测试温度：室温

2. 样品尺寸：长10～20mm，宽10mm

                      厚0.3～1mm（含基体）

3. 基体材料：Si（推荐）

                      Ge，Al₂O₃（高热导率）

4. 样品制备：样品薄膜上需沉积金属薄膜（100nm）

                     （推荐：金）

5. 薄膜热导率测量范围：0.1～10W/mK

6. 测试氛围：大气