FEI Quanta 650 FEG环境扫描电镜

研究各种各样的材料，并进行结构和成份表征，是目前对扫描电镜的主流应用要求。FEI Quanta FEG系列灵活、通用，足以应对当今人们广博的研究方向这一挑战。“分析任何样品，得到所有数据”，在Quanta FEG上可得到表面像和成份像，并可辅以多种附件来确定材

料的性质和元素组成。

Quanta 50 FEG系列是基于前两代成功的肖特基场发射环境扫描技术开发的第三代Quanta系列产品。这一系列产品用户界面使用起来十分方便、灵活，有多种功能zei大程度地发挥其使用效率，并且允许采集所有需要的数据。它是电镜专家设计来给电镜专家使用的仪器，性能远不止“简便易用”。这些功能有：特有的图像导航功能包括蒙太奇图像导航、鼠标双击样品台移动、鼠标拖曳放大居中功能以及其它标准的特色技术；SmartSCAN，一种智能扫描技术，能降低信号噪音，提供更好的数据；电子束减速模式，一个新的选项，将钨灯丝扫描电镜的低加速电压性能提高到一个全新的水平；Nav-Cam彩色图像导航器及新开发的探测器也大大增加了其灵活性。

一、主要优点

1）世界上唯一具有环境扫描技术的高分辨场发扫描电镜

2）在各种操作模式下分析导电和不导电样品，得到二次电子像和背散射电子像

3）zei大程度降低样品制备要求:低真空/环境真空技术使得不导电样品和/或含水样品不经导电处理即可直接成像和分析，样品表面无电荷累积现象

4）zl的“穿过透镜”的压差真空系统，对导电和不导电样品都可进行EDS/EBSD分析，不管是在高真空模式或在低真空模式。稳定的大束流(zei大 200 nA)确保能谱及EBSD分析工作的快速、准确

5）电镜可作为一个微观实验室。安装特殊的原位样品台后，在从- 165 °C到1500 °C温度范围内，对多种样品保持其原始状态下进行动态原位分析

6）对导电样品，可选用减速模式得到表面和成份信息

7)直观、简便易用的软件，即使电镜新手也能轻易上手

二、典型应用:

1、纳米表征

1）金属及合金, 氧化/腐蚀, 断口, 焊点, 抛光断面, 磁性及超导材料

2）陶瓷, 复合材料, 塑料

3）薄膜/涂层地质样品断面, 矿物

4）软物质: 聚合物, 药品, 过滤膜, 凝胶, 生物组织, 木材

5）颗粒, 多孔材料, 纤维

2、原位过程分析

1）增湿/去湿

2）浸润行为/接触角分析

3）氧化/腐蚀

4)拉伸 (伴随加热或冷却)

5）结晶/相变

3、纳米原型制备

1）电子束曝光 (EBL)

2）电子束诱导沉积(EBID)