性能 | ||
真空度 | 到达压力 | ≤5Pa |
成膜性能 | 膜厚分布 | ≤± 3% （φ 100mm） |
设备构成 | ||
设备型号 | SAL1000G | |
成膜方向 | 下表面 | |
基底尺寸 | φ 100mm or 4 inch Max | |
基底加热器温度 | 350℃ Max | |
前驱体数 | 2 | |
前驱体温度 | 150℃ Max | |
净化气体 | N2 （气体控制：带流量计针型阀） | |
手套箱 | 有机玻璃，真空-氮气吹扫式 | |
真空泵 | 162L/min 旋片式真空机械泵 | |
重量 | 本体：50kg，手套箱：35kg，真空泵：27kg | |
可选配置 | 基片自动旋转支架 粉体沉积配件 废气处理设备 前驱体加热器- 200℃ | |
安装要求 | ||
电源要求 | 电源 | 3相、 200V ± 10% 、15A 、50/60Hz |
接地 | ＜100Ω | |
线缆 | 5m 附赠 | |
N2吹扫气体 | 供给压力 | 0.1 ~.0.2Mpa |
接口 | 1/4 Swagelok | |
压缩空气 | 供给压力 | 0.6 ~0.8Mpa |
接口 | φ6mm 接口 | |
真空泵排气口 | 排气口 | KF-25法兰 |
设备排气口 | 排气口 | φ38mm x L28软管适配器 |
安装尺寸 | W1000 x D700 x H900 |
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