型号 | Genesis-500A |
样品台 | 五轴优中心,全自动X:40mm Y: 40mmZ: 5-45mm R:360°无限 T:-20°~90° |
电子枪 | 预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
加速电压 | 200V-30KV (zei大发射电流190μA @ 30KV/zei大电子枪功率:5.7W) |
探测器 | ET-SED |
物镜光阑 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SEI) |
放大倍数 | 10-300,000 X |
样品室 | 内径φ150mm,Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
zei大样品尺寸 | Φ96mm X 50mm |
工作距离 | 0-45mm |
扫描光栅运动 | 电位移 ±50μm, 电旋转 0-360° |
扫描模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变TV模式:800x 600像素 慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、zei大3200x2400像素 |
图像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空模式 | 高真空优于9x10-3Pa |
真空系统 | 全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟)-涡轮分子泵 -旋片式机械真空泵 -电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等 |
自动功能 | 亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中 |
软件系统 | 基于Win8,Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。 |
主机尺寸/重量 | 600(W)x623(D)x 1350(H)mm /120kg |
电源 | 单相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具 |
可选配置 | 四象限BSED样品室摄像机升级LaB6/CeB6阴极3D重构成像软件拉曼光谱EDS能谱仪WDS波谱仪EBSD 电子背散射衍射CL 阴极荧光电子束曝光装置 |
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